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仪器平台

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Lab Platform

量子功能材料与应用平台

建设目标：打造国际领先的信息材料与器件研究实验平台，贯通“材料制备-器件加工-性能表征-器件应用”全链条研究能力，重点聚焦神经网络与类脑芯片、量子芯片加工制造、热电效应固态热管理、6G及未来通信技术的关键材料与器件等领域的核心科学问题。通过发展极性拓扑结构设计准则、芯片共封装和器件小型化、新型热电和6G及未来通信器件的先进材料与器件制备技术、跨尺度表征和一体化三维集成等，助力粤港澳大湾区电子信息产业的技术进步和源头创新。重点购置化学机械抛光仪、深紫外激光直写系统、半自动薄膜沉积系统等。